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ULVAC-PHI

ULVAC-PHI 的前身為Physical Electronics(PHI)是全球超高真空表面分析儀器之領導者及創新者,其目標是為產學提供下一世代分析技術的儀器。
ULVAC-PHI之創新的掃描式X光光電子能譜儀(XPS/ESCA)、歐傑電子能譜儀(AES) 、動態二次離子質譜儀(D-SIMS)和飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS),提供客戶端廣泛的表面分析技術,其主要應用在奈米科技、半導體、儲存記憶體、生化材料、藥物化學、和金屬、高分子、有機電子等的領域。
目前ULVAC-PHI除了提供尖端的表面分析儀器之外,亦提供隨時更新的技術及精湛分析能力以滿足各學術界和業界的研究、發展和製造品管需求。客戶的售後服務、技術支援和儀器維護,皆是ULVAC-PHI所重視且全力發展的目標。在表面分析領域中,ULVAC-PHI已是世界公認之領頭羊。

工業領域適用機款

X光光電子能譜儀(XPS/ESCA)

PHI Quantera IIPHI Quantera II

X光光電子能譜儀(XPS/ESCA)

PHI X-TOOLPHI X-TOOL

研究領域適用機款

X光光電子能譜儀 III

PHI 5000 VersaProbe IIIPHI VersaProbe III

歐傑電子能譜儀(AES)

PHI 710 Scanning Auger NanoprobePHI 710 Scanning Auger Nanoprobe

Analyzer歐傑電子能譜儀

PHI 4700 Thin Film AnalyzerPHI 4700 Thin Film Analyzer

飛行時間二次離子質譜儀

PHI nano TOF IIPHI nano TOF II