原理說明
指帶有幾千電子伏特能量的一次離子束入射樣品表面，在作用區域激發出不同粒子包括二次電子、中性微粒、二次離子、反射離子等，通過不同的探測器採集不同微粒可得到不同信息，收集二次離子通過質量分析器分析後可得到關於樣品表面成分信息的質譜，簡稱二次離子質譜。在二次離子質譜儀 (SIMS) 領域，飛行時間質譜概念上是最簡單的一種質譜儀，主要用於分離質量。在飛行時間質譜分析中，脈衝二次離子被加速到特定電壓（2至8千電子伏），使所有離子具有大致相同的動能通過無電磁場空間然後到達探測器。
最新一代飛行時間二次離子質譜儀，劃時代多功能TOF-SIMS，自動化樣品分析，可靠的遠端操作功能，獨家脈衝雙束中和實現對任何類型的樣品給予自動電荷中和，先進的離子束技術執行FIB切割以及質譜分析，搭配TRIFT專利分析器適用於各種形貌和高度差異的樣品，以及Tandem MS(MS2)進行分子結構精準分析，提供最佳化的質量與空間解析度以及快速的分析速度。